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真空測量的主力設備
工作范圍廣,在絕大多數(shù)環(huán)境下堅固耐用,適用于粗真空到中等真空水平
測量范圍為 10-2 至 10-9 mbar/torr
通常與皮拉尼真空計配合使用,以測量高真空泵系統(tǒng)
熱陰極真空計與冷陰極不同,它在傳感器中內(nèi)置了一根熱絲來發(fā)射電子。該技術能夠測量中到到超高真空 (10-12mbar/torr)
主要類型為 Bayard-Alpert(ITR 或 IE 414)和提取型真空計 (IE 514)
提取技術能夠精確測量 10-12 mbar/torr 的極高真空