一、簡單得說，這三個概念分別對應氣體的真空應用設備種類繁多，但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣系統，以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個最簡單的真空抽氣系統(如圖1)。

　　圖1：最簡單的真空系統圖

　　圖1所示的最簡單的真空系統只能在被抽容器內獲得低真空范圍內的真空度，當需要獲得高真空范圍內的真空度時，通常在圖1所示的真空系統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等，這樣就構成了一個較完善的高真空系統。

　　圖2：高真空系統簡圖

　　凡是由兩個以上真空泵串聯組成的真空系統，通常都把抽低真空的泵叫做它上一級高真空泵的前級泵(或稱前置泵)，而最高一級的真空泵叫做該真空系統的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路，主泵入口處的閥門稱為主閥。

　　通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

　　總起來說，一個較完善的真空系統由下列元件組成：

　　1、抽氣設備：例如各種真空泵

　　2、真空閥門

　　3、連接管道

　　4、真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規管

　　5、其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

　　那么，究竟什么是真空系統?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統。

　　真空系統設計的基本內容：是根據被抽容器對真空度的要求，選擇適當的真空系統設計方案，進行選、配泵計算;確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，最后劃出真空系統裝配圖和零部件圖。