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性能特點:
抽速:1.6m3/h~65m3/h
極限真空度:10-4毫巴(無氣鎮分壓強)
2x10-3mbar(無氣鎮全壓強)
5x10-3mbar(帶氣鎮全壓強
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar