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性能:
集成分子泵(分子泵,變頻器和電源一體),易于與系統集成,操作簡單,占用空間小
對氣體有高抽速和高壓縮比
復合型分子泵
耐粉塵,耐沖擊,自動監測和自我保護,免維護
行業應用:
科研/分析儀器、工業及鍍膜應用、生命科學、太陽能工業、顯示行業